快速热化学气相沉积
_
быстродействующее термическое химическое парофазное осаждение, Rapid thermal CVD (RTCVD)
примеры:
改进的化学气相沉积法
modified chemical vapor deposition process (MCVD)
球形化学气相沉积金刚石晶体
ballshaped CVD diamond crystal
菜花状化学气相沉积金刚石晶体
canliflower-like CVD diamond crystal
пословный:
快速 | 热化学 | 化学气相沉积 | |
быстрый, скорый; быстродействующий, скоростной; подвижный, мобильный
|