气溶胶辅助化学气相沉积
_
химическое осаждение из газовой фазы с участием аэрозоля, CVD с участием аэрозоля, Aerosol Assisted Chemical vapor deposition (AACVD)
пословный:
| 气溶胶 | 辅助 | 助化 | 化学气相沉积 |
аэрозоль
|
помогать, поддерживать; вспомогательный, подсобный; второстепенный; дополнительный
|