等离子溅射复合刻蚀
_
plasma sputter combined etching; pse
пословный:
等离子溅射 | 复合 | 合刻 | 刻蚀 |
1) сложный, составной; комбинированный, комплексный, композитный; комплекс, смесь
2) физ. рекомбинация
3) лингв. полисинтетизм; полисинтетический
|
близкие: