超高真空化学气相沉积
_
вакуумный CVD, Ultra high vacuum chemical vapor deposition (UHVCVD)
пословный:
超高真空 |
真空化学 |
化学气相沉积 |
|
chāogāo zhēnkōngсверхвысокий вакуум |
_vacuum chemistry |
huàxué qìxiàng chénjīхимическое осаждение паров; химическое осаждение из паровой фазы; химическое парофазное осаждение |
|