刻蚀至频率

etching to frequency

пословный:

刻蚀	至	频率
kèshíгеол. корразия	zhì 1) дойти до; достигнуть; до; к 2) книжн. крайний; самый; весьма	pínlǜ физ. частота (в герцах); частотность; частотный