可变电子束曝光装置
_
variable shaped electron beam exposure system
пословный:
可变 | 变电 | 电子束曝光 | 装置 |
изменчивый; переменный, варьируемый
|
1) установка (сооружение); устройство, приспособление; оборудование
2) монтировать, устанавливать; сборка, монтаж
|
близкие: