微波等离子体化学气相沉积

ссылается на:

微波等离子化学气相沉积_
химическое осаждение из газовой фазы, активированное СВЧ плазмой; Microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD)

пословный:

微波等离子体	等离子体化学气相沉积
_микроволновая плазма	_плазменно-химическое осаждение из газовой фазы (PCVD)

близкие: