改进型自对准多晶硅栅工艺

усовершенствованная технология МОП ИС с самосовмещёнными поликремниевыми затворами

пословный:

改进型	自对准	多晶硅栅工艺
gǎijìnxíngусовершенствованный; модернизированный	_autoregistration; self alignment	_polysilicon gate process