步进重复光刻

步进重复光刻

_

step and repeat lithography; stepper lithography

пословный:

步进	重复	复光	光刻
bù jìnшаговый, пошаговое	chóngfù 1) повторяться; снова и снова; повторный, двойной; многократный 2) повторять, дублировать; дублирование, повтор	fùguāngсложный (смешанный) спектр	guāngkèтравление с использованием фоторезиста; фотообработка; фотогравирование; фототипия; фототравление; фотохимическое травление

близкие:

步进重复倍增	步进重复对准	步进重复对准器	步进重复投影
步进重复曝光	步进重复曝光掩模	步进重复照相术	步进重复照相机
步进重复照相机镜头	步进重复照相设备	步进重复移位装置	步进重复装置