流线式集成电路加工装置

установка для поточной обработки полупроводниковых пластин в процессе производства ИС

пословный:

流线	线式	集成电路	路加
liúxiàn 1) геогр. линия обтекания; линия потока (течения) 2) эл. линия тока 3) плавный, лёгкий (о движении)	xiànshì линейного образца; линейный	jíchéng diànlùинтегральная схема, ИС	lùjiāЛука (евангелист)

加工装置
jiāgōng zhuāngzhìустановка обработки, устройство обработки, блок обработки (например, данных)