深紫	紫外光	光刻
shēnzǐDeep Purple (британская рок-группа)	zǐwàiguāngультрафиолетовый свет, ультрафиолетовое излучение	guāngkèтравление с использованием фоторезиста; фотообработка; фотогравирование; фототипия; фототравление; фотохимическое травление