蒸汽淀积法

vapour deposition method

пословный:

蒸汽	淀积	法
zhēngqì физ. пар; паровой; варочный	diànjīгеол. седиментация, осаждение, образование осадочных пород	fǎ 1) закон; право; законный; правовой, юридический 2) метод, способ; приём 3) сокр. Франция