遥控等离子体增强化学汽相淀积
_
усиленное непрямой плазмой химическое осаждение из газовой фазы, усиленный непрямой плазмой CVD, Remote plasma-enhanced CVD (RPECVD)
пословный:
| 遥控 | 等离子体 | 增强 | 强化 |
1) дистанционное управление, телеуправление; телеконтроль
2) в сложных терминах: дистанционный; теле-, напр.
|
укреплять(ся), усиливать(ся); усиление, увеличивать(ся)
|
1) усиливаться; усиление, упрочение, укрепление
2) усиливать, укреплять
|
| 化学汽相淀积 | |||