光栅扫描电子束光刻系统

установка электронно-лучевой литографии с растровым сканированием

пословный:

光栅扫描电子束光刻	系统
_raster scan electron beam lithography	xìtǒng 1) система; порядок; формация; системный, систематичный, упорядоченный 2) блок, агрегат