外延化学汽相淀积
_
epitaxial cvd
химическое осаждение эпитаксиального слоя из паровой фазы
химическое осаждение эпитаксиального слоя из паровой фазы
пословный:
| 外延 | 化学汽相淀积 | ||
1) филос. объём [понятия]
2) простирать; экстраполировать; тянуть
3) эпитаксия
|