挥发性减蚀剂, 挥发性抗蚀剂
| 挥发性 | 减蚀剂 | , | 挥发性 |
1) физ. летучесть; летучий
2) комп. энергозависимость; энергозависимый
3) волатильность
|
1) физ. летучесть; летучий
2) комп. энергозависимость; энергозависимый
3) волатильность
|
| 抗蚀剂 | |||
| 挥发性 | 减蚀剂 | , | 挥发性 |
1) физ. летучесть; летучий
2) комп. энергозависимость; энергозависимый
3) волатильность
|
1) физ. летучесть; летучий
2) комп. энергозависимость; энергозависимый
3) волатильность
|
| 抗蚀剂 | |||