步进式晶片曝光
_
optical wafer stepping
последовательное шаговое экспонирование фоторезиста на полупроводниковой пластине
последовательное шаговое экспонирование фоторезиста на полупроводниковой пластине
пословный:
| 步进式 | 晶片 | 曝光 | |
1) чип
2) тонкая пластинка, лист, подложка
|
1) вскрыть, открыть, показать (напр., недостатки), обнародовать
2) [публичное] появление (напр., о рекламе)
2) фот. экспозиция; выдержка
|