等离子体增强化学气相沉积
_
химическое осаждение из газовой фазы, стимулированное плазмой; плазмохимическое осаждение из газовой фазы; усиленный плазмой CVD, Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
пословный:
等离子体 | 增强 | 强化 | 化学气相沉积 |
укреплять(ся), усиливать(ся); усиление, увеличивать(ся)
|
1) усиливаться; усиление, упрочение, укрепление
2) усиливать, укреплять
|