平行板等离子体腐蚀装置
_
реактор с параллельными электродными пластинами для плазменного травления
реактор с параллельными электродными пластинами для плазменного травления
пословный:
平行板 | 等离子体 | 腐蚀 | 装置 |
1) травление, разъедание; томление; геол. коррозия
2) въедаться, разъедать (о кислоте); разлагать
3) жгучий, едкий
|
1) установка (сооружение); устройство, приспособление; оборудование
2) монтировать, устанавливать; сборка, монтаж
|