臭氧感生未显影光刻胶形成
_
образование непроявленного фоторезиста из-за присутствия озона
образование непроявленного фоторезиста из-за присутствия озона
пословный:
臭氧 | 感生 | 未显影光刻胶 | 形成 |
эл. индуктированный
|
формироваться, складываться; формирование, образование
|