径向流式等离子体腐蚀装置
_
реактор плазменного травления с радиальным потоком реактивных газов
реактор плазменного травления с радиальным потоком реактивных газов
реактор плазменного травления с радиальным потоком реактивных газов
пословный:
| 径向流 | 式 | 等离子体 | 腐蚀 |
1) образец; модель; тип; фасон
2) церемония; обряд
3) правило; формула (напр., математическая)
4) грам. наклонение
|
1) травление, разъедание; томление; геол. коррозия
2) въедаться, разъедать (о кислоте); разлагать
3) жгучий, едкий
|
| 装置 | |||
1) установка (сооружение); устройство, приспособление; оборудование
2) монтировать, устанавливать; сборка, монтаж
|