气体等离子氧化装置

gas plasma oxidizer

плазменный реактор для оксидирования полупроводниковых пластин

примеры:

稠密等离子体聚焦装置

плотный плазменный фокус

马瑟型等离子体聚焦装置

Mather's plasma focus apparatus

气态等离子体阳极化(阳极处理), 气体放电等离子体阳极化

анодирование в газоразрядной плазме

пословный:

气体	等离子氧化	氧化装置
qìtǐ газообразное тело; газ; газообразный; газовый	_plasma oxidation	_oxidation coating